1%PH3+H2 磷烷/氫氣混合氣
浦江氣體推出 浦江? 品牌系列磷烷加氫氣混合氣
磷烷/氫氣混合氣,根據用戶需要可以定制不同規格.品質為先,服務至上,值得信賴。資深技術人員提供用氣咨詢,供氣解決方案,配套設備一應俱全!可根據需求配制,貨源充足,及時配送!
我們浦江特殊工業氣體的業務優勢：
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l 配合客戶用氣計劃，為客戶做好庫存管理計劃
1.磷烷氫氣混合氣簡介：
磷烷是半導體器件制造中的重要 N型摻雜源，同時 磷烷還用于多晶硅化學氣相沉淀、外延 Ga P材料、離子注人工藝、MO C V D工藝、磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中。無色，劇毒，易燃燒氣體，帶有令人生厭的大蒜味。
2.磷烷氫氣混合氣常見用途：
在電子氣家族中，硅烷、磷烷、硼烷、砷烷應用量較大，是IC制造極為重要的原料。其中的磷烷是半導體器件制造中的重要 N型摻雜源，同時 磷烷還用于多晶硅化學氣相沉淀、外延 Ga P材料、離子注人工藝、MO C V D工藝、磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中。
PH3：易燃、易爆、劇毒；其毒性數為：PEL/TLV 0.3×10， STEL 1×10，LC5020×1O，ZDLH200×10，屬劇毒危害品。
設備參數
浦江磷烷氫氣混合氣技術參數表格
| 氣體 | 純度 | 雜質含量（ppm） | 鋼瓶 | 閥門 | 備注 |
| 1%PH3+H2 | 1+/-0.03% | PH3: 6N H2O≤0.1，CO2≤0.1，N2≤0.1，O2+Ar≤0.2，AsH3≤0.1,，THC≤0.1 | 48.8L | DISS632 | 100KGf/cm2 |
| H2: O2+Ar≤0.1,N2≤0.1,CO≤0.1,CO2≤0.1,THC≤0.1,H2O≤0.1 | 440L | DISS632 |
注：表中產量其成品的通篩率為99%。各項參數及外形若有變更,依發貨時隨帶的使用維護說明為準。技術參數如有變動，恕不另行通知。
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