NF3 三氟化氮

1.產品性質：

產品名稱：三氟化氮 |  化學式：NF₃

純凈的NF₃氣體是一種無色無味的氣體，當混入一定量的雜質氣體后顏色發黃，同時會有發霉或刺激性氣味。NF₃氣體不可燃，但能助燃。當溫度超過350℃時，三氟化氮氣體會緩慢分解，分解時產生強氧化性氟，因此，在高溫下它是一種強氧化劑。

2.三氟化氮常見用途：

三氟化氮是用作氟化氫－氟化氣高能化學激光器的氟源，在h₂-O₂ 與F₂之間反應能的有效部分（約25％）可以以激光輻射釋放出，所HF-OF激光器是化學激光氣中最有希望的激光氣。三氟化氮是微電子工業中一種優良的等離子蝕刻氣體，對硅和氮化硅蝕刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳與氧氣的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對表面無污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成電路材料的蝕刻中，三氟化氮具有非常優異的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物表面不留任何殘留物，同時也是非常良好的清洗劑。隨著納米技術的發展和電子工業大規模的發展技術，它的需求量將日益增加。

3.注意事項

如遇有NF₃氣體泄露，工作人員要馬上撤離泄漏污染區，并盡可能采取措施阻止NF₃氣體的進一步泄露。如有工作人員中毒，應立即送往醫院救治。

泄露現場要盡快處理，處理泄露現場的工作人員必須配戴必要的防毒面具，最好是自給正壓式呼吸器。泄露現場經檢測無危害氣體后方可進入工作人員，泄露容器必須經仔細檢查、維修或妥善處理好后方可繼續使用。NF₃氣瓶應儲存于陰涼、通風倉庫內，倉庫溫度不宜超過30℃。

NF3氣瓶應遠離火種、熱源、防止陽光直射，與還原劑、易燃或可燃物等分開存放。NF₃氣瓶在搬運時要輕裝、輕卸，防止鋼瓶及附件破損。NF₃氣瓶的運輸按危險品運輸。運輸時用氣瓶固定架將NF₃氣瓶固定好，用汽車公路運輸或用輪船集裝箱運輸。