1.電子級氮氣簡介：
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2.電子級氮氣常見用途：
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設備參數
浦江高純氫技術參數表格
|
氣體 |
純度 |
雜質含量（ppm） |
鋼瓶 |
閥門 |
備注 |
|
200ppm SiH4+H2 |
99.9999% |
N2=0.4, O2=<0.2, CO=<0.1, CO2=<0.1, THC=<0.1, H2O=<0.5 |
48.8 |
DISS632 |
4.8m3/瓶 |
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